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島津製作所は、中国の生産子会社である天津島津液圧有限公司（TSH）にターボ分子ポンプ（TMP）の生産ラインを新設し、生産を開始した。
TMPは、装置内部にある多数の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回という超高速で回転させることで気体分子を弾き飛ばし、真空状態を作り出す装置だ。
島津製作所製のTMPは、半導体製造装置やコーティング装置などに搭載されている。
同社は中国半導体市場の成長を見据え、年間約2000台の生産を見込んでいる。特に先端プロセス向け真空プロセス需要に応える。
今回の投資により、島津は天津工場でTMPの組み立てから検査までを一貫して行い、品質管理を徹底する。今後も中国市場での半導体関連事業を拡大する方針だ。
編集部注：この記事はAIを使用して作成されており、Response.jpの記事を元に、内容を変更せずにリライトしたものです。
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